Efficacité du dépôt orthogonal pour les diodes électroluminescentes organiques

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Sinopse
Características

Les dispositifs à semi-conducteurs organiques à couche mince, tels que les diodes électroluminescentes organiques (OLED) et les photovoltaïques organiques, peuvent être fabriqués de différentes manières, notamment par dépôt physique en phase vapeur (PVD). Le PVD est un procédé permettant de déposer des couches minces dépaisseur et de composition de matériaux précisément contrôlées sur un substrat dans un système sous vide. Des creusets chauffés par résistance, appelés bateaux, sont couramment utilisés pour chauffer les matériaux sources à une température suffisante pour provoquer la vaporisation ou la sublimation. Ces modèles de bateaux contiennent généralement une seule ouverture qui produit un flux de vapeur conique pour revêtir à la fois un substrat et un capteur dépaisseur et de vitesse situé à proximité. Dans cette étude, un nouveau modèle de bateau intégrant un double flux de vapeur, où un flux de vapeur est dirigé vers le capteur et lautre vers le substrat dans une orientation orthogonale, a été étudié. Cette conception est destinée à fournir des caractéristiques particulièrement utiles pour la fabrication de films minces organiques de compositions complexes impliquant de multiples composants. Il est également conçu pour réduire les déchets de matériaux en raccourcissant la distance entre la source et le substrat.

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